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              場發射掃描電鏡的兩種分類介紹

              發布時間:2022-08-27      點擊次數:284
              場發射掃描電鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種,其原理是利用二次電子或背散射電子成像,對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察,同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析。
               
              場發射掃描電鏡的分類:
               
              1、冷場發射掃描電鏡
               
              冷場發射掃描電鏡優點是電子束直徑小,亮度高,因此影像分辨率高。能量散布小,故能改善在低電壓操作的效果。為避免針尖被外來氣體吸附,而降低場發射電流,并使發射電流不穩定,冷場發射式電子槍必需在10^-10torr的真空度下操作,雖然如此,還是需要定時短暫加熱針尖至2500K(此過程叫做flashing),以去除所吸附的氣體原子。它的另一缺點是發射的總電流小。
               
              2、熱場發射掃描電鏡
               
              熱場發射掃描電鏡是在1800K溫度下操作,避免了大部份的氣體分子吸附在針尖表面,所以免除了針尖flashing的需要。熱式能維持較佳的發射電流穩定度,并能在較差的真空度下(10^-9torr)操作。雖然亮度與冷式相類似,但其電子能量散布卻比冷式大3~5倍,影像分辨率較差,通常較不常使用。
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